Download the Lasair II 110 规格说明 spec sheet... (178.3 KB)

• 降低缺陷率
• 实时监测导致制程缺陷的粒子变化
• 使用移动式计数器定位粒子污染源
• 排除多管采样的常见漏计错误
• 附件配备齐全，适用于多种应用
• 0.1µm粒子监测效率高于传统设备
• 提高生产效率
• 存储/导出采样方案，节省洁净室认证时间
• 通过办公室电脑和网络浏览器控制洁净室监测：设置、采样、显示、打印、下载数据、上传采样方案等
• 噪音极小，有利于改善工作环境
• 可选择9种语言显示和打印
• 符合ISO、FS或英国标准的计算统计和报告
• 同Facility Net软件整合，用于全面数据管理
• 高速下载数据至Excel、PDA或USB存储器
• 成本低
• 使用同一台粒子计数器进行ISO Class 1 - 9应用
• 无需频繁清洗激光部件
• 泵的使用寿命长，无需每年更换叶片
• 容易清洗擦拭，设计有利于将粒子截留减至最少
• 符合ESA/ESD标准的KYDEX®机壳，非常结实，抗化学腐蚀。
• 低温激光二级管使用寿命更长；激光部件保修3年